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Gemini 360 场发射扫描电子显微镜
发布机构:绍兴市特种设备检测院 发布时间: 打印本页
Gemini 360（蔡司英国）
一、设备简介
该设备为高分辨率场发射扫描电子显微镜，配置有能谱分析仪，通过激发二次电子信号或背散射信号形成材料的高清形貌图、元素衬度背散射电子像；可进行材料微观形貌观察、断口分析；实时微区成分定量、定性分析；元素面扫描和线扫描分布测量等。
二、产品特点
具有高分辨成像与微区定性成分分析的功能，同时电子显微镜配备的大样品仓和大行程样品台有效满足使用者大样品观测的使用需求。
三、主要参数
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项目 |
技术参数 |
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分辨率 |
二次电子探测器无需额外增加任何偏压，可获得样品的极表面信息 分辨率：≤0.7 nm@15KV，≤1.2 nm@1kV （二次电子）（非样品台减速模式下） |
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放大倍率 |
放大倍率：9-2,000, 000倍（底片放大倍率） |
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样品室 |
抽屉式拉门，样品室宽度或者内部直径不小于350mm；可容纳最大样品尺寸不小于200mm |
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图像 |
最大不小于32k×24k像素 |
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能谱仪 |
有效面积不小于65mm2，高分子超薄窗设计，元素分析范围: Be4～Cf98 |
四、应用实例
Mag= 100 k× Mag= 200 k×
